Technische Parameter des Protos Spacers (zur Wafer-Nutzung)
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Artikel |
ASTM Amerikanisch Gesellschaft für Prüfung Materialien ASTM |
GB-Teststandard |
Einheit |
Testergebnis |
|
Schmelzpunkt |
D1238 |
GB3682-KARTON |
g/10min |
2.1 |
|
Wasseraufnahme |
D570 |
GB/96-04-10 |
% |
0.5 |
|
Dichte |
/ |
GB1033-KARTON |
g/cm |
0.98 |
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Zugfestigkeit |
TD MD |
GB/96-04-10 |
Mpa |
TD: 32.01 MD: 33,75 |
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Bruchdehnungsrate |
TD MD |
GB/96-04-10 |
% |
TD: 702 MD: 685 |
|
Oberflächenwiderstand |
/ |
GJB2605-1996<1×10¹²Ω/square |
Ω/Quadrat |
105-9 |
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Reibungskoeffizient |
Äußere Oberfläche |
GB/96-04-10 |
Uns |
0.09 |
|
Innenfläche |
Ud |
0.08 |
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Statische Ableitung |
5000-0V |
SJ/T10694-1996 |
Sek. |
<2 |
|
Heißsiegeltemperatur |
/ |
GB/96-04-10 |
F |
250-375 |
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Kapazitätsfreigabe |
E1A541 |
SJ/T10694-1996 |
V |
<15KV Voltage difference-E1A541 |
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Größe |
GB/96-04-10 |
Dicke {{0}}.1±0,01mm Durchmesser (100~300)±2mm |
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Aussehen |
GB/96-04-10 |
Keine Schichtung, Falten, Verwerfungen, Risse, Adhäsionen, Fremdkörperanhaftungen |
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Der Hauptvorteil der Verwendung von Abstandshaltern besteht darin, dass sie dabei helfen, den Abstand zwischen den Wafern mit einer Genauigkeit von wenigen Mikrometern zu kontrollieren. Dieser winzige Spalt ist für die ordnungsgemäße Funktion des Halbleiterbauelements von entscheidender Bedeutung. Abstandshalter tragen außerdem dazu bei, den Kontakt zwischen den Wafern zu verhindern, der zu Beschädigungen oder Verunreinigungen führen könnte.
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