Was ist die flache Kante einer Siliziumscheibe?
Flach kann auch als Positionierungskante bezeichnet werden.
2, 4 und 6- Zoll große Siliziumwafer sind nicht ganz rund, sondern haben eine abgeschnittene Ecke. Nachdem der Siliziumblock mit der CZ-Methode herausgezogen wurde, werden, bevor er in Siliziumwafer geschnitten wird, nach der Bestimmung der Kristallorientierung eine oder mehrere flache Kanten mit einer Diamantsäge in den Block geschnitten. Daher hat der Siliziumwafer 1-2 Positionierungskanten, die lange Positionierungskante befindet sich an der Unterseite des Wafers und die kurze Positionierungskante ist nicht in ihrer Position fixiert und ändert sich mit der Kristallorientierung und dem Dotierungstyp.
Welcher Zusammenhang besteht zwischen der Positionierungskantenposition und der Kristallorientierung?
Es gibt im Allgemeinen drei Arten von Kristallorientierungen für Silizium-Wafer:<111> <110> <100>.
Wenn der Winkel zwischen der Hauptpositionierungskante und der sekundären Positionierungskante 45 Grad beträgt, ist der Siliziumwafertyp n-Typ<111>; wenn der Winkel zwischen der Hauptpositionierungskante und der sekundären Positionierungskante 90 Grad beträgt, ist der Silizium-Wafer-Typ p-Typ<100>; wenn der Winkel zwischen der Hauptpositionierungskante und der sekundären Positionierungskante 180 Grad beträgt, ist der Siliziumwafertyp n-Typ<100>. Seit der<110>Die Kristallorientierung ist keine gängige Silizium-Wafer-Kristallorientierung, es gibt keinen Standard, um sie darzustellen. Die<110>Die Kristallorientierung kann entsprechend den Standards des Silizium-Wafer-Lieferanten dargestellt werden.
Sind die Längen der primären und sekundären Positionierkanten festgelegt?
Ja, da sie mit den Geräten zur Halbleiterherstellung übereinstimmen müssen, sind die Längen und Positionen der primären, primären und sekundären Positionierungskanten festgelegt.
Im Allgemeinen beträgt die Länge der primären Positionierungskante eines 2--Zoll-Siliziumwafers 15,8 mm, die Länge der primären Positionierungskante eines 4--Zoll-Siliziumwafers 32,5 mm und die Länge der primären Positionierungskante eines 6--Zoll-Siliziumwafers 57,5 mm. Die Länge der sekundären flachen Positionierungskante eines 4--Zoll-Siliziumwafers beträgt etwa 18 mm und die Länge der sekundären flachen Positionierungskante eines 6--Zoll-Siliziumwafers beträgt etwa 22 mm.
