Herstellungsverfahren für eine Solarzelle aus amorphem Silizium

Es gibt viele Methoden für Solarzellen aus amorphem Silizium, darunter plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung, reaktives Sputtern, Glimmentladung, Elektronenstrahlverdampfung und thermische Zersetzung von Silan.
1. Reaktives Sputterverfahren: Verwenden Sie zunächst einen Infrarotlaser, um das TCO-leitende Glassubstrat mit einem Laser zu ritzen. Führen Sie nach dem Laserritzen eine Ultraschallreinigung durch. Nachdem Sie das Substrat gereinigt haben, legen Sie es in eine spezielle Ablagerungsvorrichtung und schieben Sie es zum Vorheizen in den Ofen. Vorheizen Die Post-Deposition-Vorrichtung wird in die PECVD-Depositionsvakuumkammer geschoben und das amorphe Silizium wird mithilfe des PECVD-Depositionsprozesses abgeschieden; dann wird der grüne Laser verwendet, um ein zweites Laserritzen auf dem abgeschiedenen amorphen Siliziumsubstrat durchzuführen, und nach dem Ritzen wird eine Reinigung durchgeführt; Anschließend wird das gereinigte Substrat mithilfe der PVD-Technologie mit einem Metall-Rückelektroden-Verbundfilm plattiert, und die Zinkoxidschicht als einer der Metall-Rückelektroden-Verbundfilme wird auf der Oberfläche der amorphen Siliziumschicht abgeschieden, und weitere Metall-Rückelektrodenschichten werden abgeschieden auf der Zinkoxidschicht; Führen Sie dann mit dem grünen Laser das dritte Laserritzen auf dem Substrat mit der abgeschiedenen Metallrückelektrode durch und reinigen Sie es nach dem Ritzen. Bisher wurde die Struktur des Batteriechips gebildet; Danach wird der Batteriechip laminiert und verpackt und die Anschlussdose und die Anschlusskabel werden installiert. Führen Sie abschließend Leistungstests an den Komponenten durch und verpacken Sie qualifizierte Produkte in Kartons. Abhängig von der Größe und den Spezifikationen der produzierten Photovoltaikmodule dauert der Produktionszyklus in der Regel drei bis vier Stunden.
2. Plasmaverstärkte chemische Gasphasenabscheidungsmethode: Eine Reihe von Abscheidungskammern wird verwendet, um ein kontinuierliches Programm in der Produktion zu bilden und eine Massenproduktion zu erreichen. Gleichzeitig ist die Solarzelle aus amorphem Silizium sehr dünn und kann gestapelt oder mit einem integrierten Schaltkreisverfahren hergestellt werden. Auf einer Ebene können mit einem geeigneten Maskenprozess mehrere Zellen gleichzeitig in Reihe geschaltet werden, um eine höhere Spannung zu erhalten.
3. Glimmentladungsmethode: Ein Quarzbehälter wird evakuiert, mit mit Wasserstoff oder Argon verdünntem Silan gefüllt, mit einer Hochfrequenzstromquelle erhitzt, um das Silan zu ionisieren und ein Plasma zu bilden, und der amorphe Siliziumfilm wird oben auf dem erhitzten Substrat abgeschieden.